平板显示技术展望

13.2　TFT平板显示技术展望

TFT阵列制造技术是高亮度、高集成度平板显示器件的核心。技术发展空间非常宽广，以TFT为核心的技术时代刚刚开始。许多新技术、新成品、新应用将深刻地改变人类的生活方式。在可以预见的最近的将来，人们将在TFT制造领域实现下列技术的突破，进一步降低平板显示器件成本，提高器件质量，同时提高人们的生活质量。

（1）非晶硅TFT-LCD的产品从1in以下的投影器件，到手机屏、车载显示器、笔记本显示器、计算机显示器、大屏幕平板电视，实现了全面覆盖。

（2）生产能力从300mm×400mm的第一代线到计划中的2 880×3 080 mm的第10代线，制造能力已经达到极致。

（3）生产工艺由7次光刻发展到3次光刻，工艺技术也已经几乎完美。

（4）产业规模2007年将接近1 000亿美元大关。

（5）经营规模也由原来一个公司一条线，发展到一个公司十几条线，研发制造一体化，产品制造商和设备制造商、原材料供应商交叉持股联合经营的超大规模的跨国集团经营模式。

（6）国际上从教育、设计、制造、原材料、零部件、整机到服务的一条完整的产业链已经形成。

（7）以硅基TFT为核心的平板显示技术和产业发展的初级阶段已经结束。

2007年开始以硅基TFT为核心的平板显示技术和产业发展进入技术升级的阶段。从TFT阵列制造的角度，技术升级期间，制造商会进一步关注智能化生产控制技术、无缺陷生产技术、共同缺陷预警与防止技术、新型生产工艺技术（简化工艺，采用环保材料和工艺）、材料回收与循环使用技术、彩膜阵列一体化技术、无掩模板激光扫描曝光技术等。

从TFT平板显示行业技术的角度，面临的技术升级将主要涉及LED场序背光源技术、非硅基高迁移率TFT系统集成技术和自然光光阀材料技术。这3项技术升级的完成，推动TFT平板显示技术进入以系统集成为标志的无机芯片时代。

平板显示技术和产业作为信息社会的基础产业，信息技术的核心器件，从以非晶硅TFT为核心的TFT-LCD的初级阶段起步，到以系统集成为核心的无机芯片系统集成的成熟阶段、以柔性显示为核心的有机电子发展阶段，到以生物芯片为核心的生物电子技术阶段结束，大约要经历百年的发展，技术发展空间十分广阔，知识产权内容非常丰富，这是一个充满了秘密的、空间广阔的未知领域，是信息社会国家竞争力的核心领域之一。这不仅仅是技术的竞争，同时也是国家综合实力的竞争。致力于中华民族伟大复兴的中国经济建设战车已经启动，中国不断增强的经济实力和日益提高的科研人员素质、不断完善的科研基础设施的建设，可以毫无悬念地预测，中国将最终成为TFT平板显示行业技术发展的领跑者。