【摘要】：21世纪，MEMS技术将有更大的发展，新原理、新功能、新结构的微传感器，微执行器，以及微系统将会不断出现。微执行器用于提供各种运动和控制，是MEMS中的关键部分。目前研究的微执行器主要有微马达、微型镊子、微泵、微阀及微光学器件、打印机喷头和硬盘磁头等。将微传感器、微执行器及相关的信号处理和控制电路集成在一起，能完成一定功能的微电子机械系统是研究的最终目标。
微电子机械系统包括微传感器和微执行器。目前最成功推向市场的是压力传感器和加速度传感器。21世纪，MEMS技术将有更大的发展，新原理、新功能、新结构的微传感器，微执行器，以及微系统将会不断出现。MEMS的发展主要集中在三个方向：微传感器 （Micro－sen-sor），微执行器 （Micro－actuator）和微系统（Micro－system）。
微传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高和成本低的优势。目前开发的微传感器可以测量各种物理量、化学量和生物量，例如位移、速度、加速度、压力、应力、应变、声、光、电、磁、热、p H值、离子浓度及生物分子浓度等。
微执行器用于提供各种运动和控制，是MEMS中的关键部分。目前研究的微执行器主要有微马达、微型镊子、微泵、微阀及微光学器件、打印机喷头和硬盘磁头等。
将微传感器、微执行器及相关的信号处理和控制电路集成在一起，能完成一定功能的微电子机械系统是研究的最终目标。数字化微镜器件、DNA分析系统、微传输系统和微流量控制系统是正在研究的几种微电子机械系统。
微系统的几个主要发展方向是微型光机电器件和系统、微型生物芯片、微型机器人、微型飞行器和微动力系统。
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