【摘要】：为了详细了解PDMEB对甲烷的吸附原因，将PDMEB密闭在甲烷气体中12h，然后作红外光谱分析，如图3-18所示。观察PDMEB的表面形貌发现其呈胶状颗粒不均匀分布，薄膜表面较为疏松，平整度和透气性不是很好。但PDMEB的表面有孔洞存在，这也有可能是它对稳固性气体甲烷有气敏特性的原因。Pt-DEB的表面形貌成规则的褶皱型，当其吸附适合的有机溶剂分子时，由于溶胀现象而体积膨胀，对于质量型气体传感器则使其表面质量发生变化，从而有很好的气敏特性[133]。
气敏机理分析_质量敏感型有毒有
甲烷是正四面体结构，碳原子位于该空间图形的中心，4个氢原子位于正四面体的4个顶点上。甲烷结构稳定牢固，一般不容易与其他物质相结合。为了详细了解PDMEB对甲烷的吸附原因，将PDMEB密闭在甲烷气体中12h，然后作红外光谱分析，如图3-18所示。与图3-4进行比较，从865～415 cm−1这个范围内的光谱吸收明显减弱；第二个吸收减弱区域是1603～1495 cm−1；在3416 cm−1出现第三处光吸收减弱；伴随三处吸收减弱，在2959 cm−1出现了唯一的一个吸收增强。表明PDMEB薄膜与CH4发生了一定的相互作用，从而导致红外光谱的变化。
图3-18 PDMEB放在1700ppm CH4中12h的红外光谱图
表面形貌也是了解气敏机理的主要方法。图3-19为PDMEB和Pt-DEB的表面形貌图。比较PDMEB和Pt-DEB的表面形貌发现，PDMEB成膜较均匀，分散较好，这使得其成膜在SAW器件上的差损较小，如3.3.2节描述。
观察PDMEB的表面形貌发现其呈胶状颗粒不均匀分布，薄膜表面较为疏松，平整度和透气性不是很好。从宏观上来讲，会影响薄膜对于气体的吸附和解析，灵敏度和气敏的重复性不佳。但PDMEB的表面有孔洞存在，这也有可能是它对稳固性气体甲烷有气敏特性的原因。Pt-DEB的表面形貌成规则的褶皱型，当其吸附适合的有机溶剂分子时，由于溶胀现象而体积膨胀，对于质量型气体传感器则使其表面质量发生变化，从而有很好的气敏特性[133]。
图3-19 表面形貌
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