【摘要】：腔腔室的正面如图6.8所示，两个O形环之间抽成真空，利用外部大气的压力保持密封状态。腔内有20个格子，一次可以放下20片基板；其外部有和腔室底部的波纹管相通的氮气管道，用来控制腔室内放置基板的高度；排气管道和恢复大气状态时用的：进气管道；皮拉尼真空计和B-A真空计。传送腔腔内主要就是大气机械手。图6.9所示为大气机械手结构。
6.3.2 装载腔和传送腔结构
1.装载腔室结构
腔（load lock，LL）腔室的正面如图6.8所示，两个O形环之间抽成真空，利用外部大气的压力保持密封状态。腔内有20个格子，一次可以放下20片基板；其外部有和腔室底部的波纹管相通的氮气管道，用来控制腔室内放置基板的高度；排气管道和恢复大气状态时用的：进气管道；皮拉尼真空计（TPR）和B-A真空计（IKR）。
图6.8 装载腔室的正面和外部结构
2.传送腔结构
传送腔（transfer chamber，TC腔）腔内主要就是大气机械手。图6.9所示为大气机械手结构。
（1）采用4根叉子保证了基板的平稳。
（2）采用碳素钢增加了硬度，减少了基板和叉子的下垂量，有效地利用反应室的空间。
图6.9 Unaxis PECVD设备TC腔室结构图
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