【摘要】：通过统计学技术处理，发现这类缺陷通常都和某些设备存在一定的相关性。缺陷分布图为对设备等进行相应的调整和改进提供了信息支持。图11.11所示是某生产线3月到8月这5个月中TFT各类缺陷发生率的一个统计。从这个统计表可以看到3～6月缺陷发生率整体是下降的，7～8月有些回升，但是总体上还低于3～4月。而整个8月份的情况是两头高，中间低，这也反映了生产上的一些规律。
11.4.1 缺陷分布图
在阵列制造工艺中，发生缺陷的整块基板的某些特定位置（如边角）发生缺陷的几率比较大，如图11.10所示，那么就要调查其产生的原因，分析为什么会产生这种现象。通过统计学技术处理，发现这类缺陷通常都和某些设备存在一定的相关性。缺陷分布图为对设备等进行相应的调整和改进提供了信息支持。
图11.10 缺陷在整块基板上的分布
对于合格率突然降低的缺陷解析比较容易，跟踪前面和后面生产的Lot数据、装置维护保养记录、工艺条件变更记录、设备修理记录，可以很快地发现问题的原因。但是对于缓慢增长的缺陷就比较难以解析。长期的数据积累、各种生产记录是缺陷解析的重要资料。
图11.11所示是某生产线3月到8月这5个月中TFT各类缺陷发生率的一个统计。左边数据是3～8月的月统计，右边是8月份31天日统计。从这个统计表可以看到3～6月缺陷发生率整体是下降的，7～8月有些回升，但是总体上还低于3～4月。而整个8月份的情况是两头高，中间低，这也反映了生产上的一些规律。
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