【摘要】：KAI 1200系统是Unaxis第5代生产线的主流PECVD设备。宽为7.8m，长为10.8m，高为3.2m，重量达53吨。KAI 1200技术条件如下所述。系统工作时会产生大量的热量，为了维持系统正常的稳定运行，冷却水的温度和流量是重要参数，具体要求见表6.11。Unaxis PECVD设备整机如图6.6和图6.7所示，由两个工艺室，一个传送腔，一个装载腔，一个卸载腔组成。TC腔内有一个真空机械手，设备外有两个大气机械手。此外，该设备配有配电箱，供气箱，排气系统，水循环系统等部件。
6.3.1 Unaxis设备总体结构说明
KAI 1200系统是Unaxis第5代生产线的主流PECVD设备。宽为7.8m，长为10.8m，高为3.2m，重量达53吨（t）。KAI 1200技术条件如下所述。
1.环境条件
环境温度为＋18～＋25℃，空气湿度为40～60相对湿度，基板装载室净化度为100级。
2.电学数据
见表6.9，额定功率是实际应用数据，表中的标定功率是理论数据，实际上不可能达到，功率设计上留出相当大的余地。
表6.9 KAI 1200的额定功率
UPS电源只用于安全关机的目的，不能用于维持生产的目的，其技术参数见表6.10。
表6.10 KAI 1200的UPS电源技术参数
3.冷却水
系统工作时会产生大量的热量，为了维持系统正常的稳定运行，冷却水的温度和流量是重要参数，具体要求见表6.11。
表6.11 KAI 1200的冷却水系统
4.压缩空气
压缩空气的用量，140L·min-1，压力在5～6kg·cm-2。
Unaxis PECVD设备整机如图6.6和图6.7所示，由两个工艺室（PM1和PM2），一个传送（TC）腔，一个装载（LL in）腔，一个卸载（LL out）腔组成。TC腔内有一个真空机械手，设备外有两个大气机械手。每个成膜腔室可以放10片基板，LL in腔室和LL out腔室都可以放20片基板。此外，该设备配有配电箱，供气箱，排气系统，水循环系统等部件。
图6.6 第5代生产线PECVD设备
图6.7 第5代生产线集群式PECVD设备框图
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