【摘要】：溅射设备主要由自动装载机、进料单元、搬运单元、加热单元、若干工艺室和基板出口6个部分组成。下面简要介绍溅射设备的结构与主要技术性能。利用加热板的旋转交换基板，可以加快生产节拍。图5.14所示是溅射设备结构示意。
5.4.1 溅射设备的结构
溅射设备主要由自动装载机、进料单元、搬运单元、加热单元、若干工艺室和基板出口6个部分组成。下面简要介绍溅射设备的结构与主要技术性能。
图5.12所示是日本一种多工艺室的溅射设备照片。它由玻璃搬运机（Glass Loader），玻璃基板装载箱（Cassette）、基板装载/卸载工作室（L/UL）、加热/冷却工作室（Hch）、基板输运室（Tr）和4个成膜工艺室（S ch）组成。
图5.12 溅射设备的结构平面图
成膜室有两种，一种成膜室的内部只有一个靶材和基板支架，叫做X1室；另一种成膜室有两套靶材或3套靶材，叫做X3室，可以在进行一块基板成膜时，准备好下一块将要成膜的基板。利用加热板的旋转交换基板，可以加快生产节拍。
随着玻璃基板增大，对溅射设备提出了一些新的要求，第5代生产线的基板达到1 100mm×1 300mm，由于基板的厚度只有0.7mm，因此必须要优化基板装载/卸载系统、基板加热和冷却系统，以防止基板破裂。
随着生产规模的扩大和减低成本的要求，第5代生产线要求溅射设备工作节拍比第4代生产线更快；优化工艺流程，将基板装载和卸载系统分成两个通道，采用双臂机器人缩短基板交换时间，采用多磁棒磁控阴极提高沉积速率，采用X-3type结构等措施，使得第5代生产线的溅射设备在技术上更加完善，当然体积也变得更加庞大。第5代生产线单台设备底盘面积大约有200mm2，如图5.13所示。图5.14所示是溅射设备结构示意。
图5.13 SMD-1200的布局
图5.14 溅射设备示意
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