【摘要】：药液入口淋浴流量决定了基板浸润性的好坏，对刻蚀速率及均一性、边刻蚀量均一性有一定的影响。入口淋浴流量越充足，淋浴的水帘形状越好，基板上所有地方都能被浸润到，刻蚀均一性也就越好。在实验中观察到，入口淋浴流量在5L·min-1以上时，淋浴形状比较好，呈水帘状，药液在基板表面分布比较均匀，浸润性较好。
8.5.5 药液入口淋浴流量
药液入口淋浴流量决定了基板浸润性的好坏，对刻蚀速率及均一性、边刻蚀量均一性有一定的影响。尤其是在减少刻蚀姆拉方面具有重要作用。
若入口淋浴流量太小，淋浴的瀑布状水帘会被分割，呈一条条的柱状，使基板各个位置上浸润不均，甚至有些地方没有被刻蚀液浸润到，而导致刻蚀不均。入口淋浴流量越充足，淋浴的水帘形状越好，基板上所有地方都能被浸润到，刻蚀均一性也就越好。但出于成本的考虑，流量不必设计太大，只要能起到均匀浸润基板的效果即可。
判断入口淋浴流量的好坏首先需目视观察淋浴的形状，再目视观察基板流过淋浴后基板各处是否都覆盖有刻蚀液层，最后用微软、宏观方法观察刻蚀姆拉的程度。
在实验中观察到，入口淋浴流量在5L·min-1以上时，淋浴形状比较好，呈水帘状，药液在基板表面分布比较均匀，浸润性较好。而流量在3L·min-1时，淋浴形状呈水柱状，基板表面浸润不均。考虑到要留有一定的余量及节约成本，选择的流量值为7.5L·min-1。
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