【摘要】：洗净能力评价是一个比较复杂的问题，这里简单考察一下灰尘颗粒的洗净评价，见表4.18。各种尺寸颗粒的去除效果，以除去率来表示：表4.18所示是对灰尘颗粒污染实验统计的结果。在其他洗净条件不变的前提下，改变两个条件，不使用刷子并减慢基板输运速度，则粒径为1μm以上的颗粒的除去率达到80%以上。
4.5.2 洗净能力评价
洗净能力评价是一个比较复杂的问题，这里简单考察一下灰尘颗粒的洗净评价，见表4.18。各种尺寸颗粒的去除效果，以除去率来表示：
除去率（%）＝（污染样品微粒数-洗净后微粒数）/（污染样品微粒数-初期值）×100%，（4.1）
颗粒尺寸：（S，M，L）＝（1μm，3μm，5μm）。
表4.18所示是对灰尘颗粒污染实验统计的结果。在其他洗净条件不变的前提下，改变两个条件，不使用刷子并减慢基板输运速度，则粒径为1μm以上的颗粒的除去率达到80%以上。减慢基板输运速度对灰尘颗粒的除去率没有大的影响。
当超声波功率上升时，相应的洗净能力（对中小颗粒）也会略有提高。一般超声电压设定在140V比较合适。
表4.18 灰尘颗粒洗净能力评价
（续表）
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