【摘要】：分析电子显微镜及其相关的各种实验技术和理论基础是20世纪70年代末在透射电子显微镜、扫描电子显微镜和电子探针的理论和实验技术基础上发展起来的。它是具有多功能分析方法的透射电子显微镜。分析电子显微镜利用高能电子束照射样品来激发各种信号，运用各种成像技术和检测方法来获得试样中微小区域的化学成分、晶体结构和组织形态一一对应的信息。
分析电子显微镜（analytical electron microscope，AEM）及其相关的各种实验技术和理论基础是20世纪70年代末在透射电子显微镜、扫描电子显微镜和电子探针的理论和实验技术基础上发展起来的。它是具有多功能分析方法的透射电子显微镜。分析电子显微镜利用高能电子束照射样品来激发各种信号，运用各种成像技术和检测方法来获得试样中微小区域的化学成分、晶体结构和组织形态一一对应的信息。因此，分析电子显微镜具有如下特点。
（1）由于采用和透射电子显微镜相同的薄试样和高的加速电压，因此，它具有TEM的全部功能，可以对薄晶体进行选区电子衍射和衍射成像以及高分辨结构成像。
（2）采用物镜前置场作为第三聚光镜可将入射电子束会聚成直径极小的探针束（probe），其直径可小至1nm左右，因此可进行纳米衍射和会聚束衍射得到几纳米区域的三维晶体学信息。
（3）由于电子束斑点小并在薄样品中几乎无横向扩展，因此分析电子显微镜具有高空间分辨率，采用X射线能谱仪或电子能量损失谱仪可对几纳米的微区进行元素的定性和定量分析，而扫描电子显微镜的能谱仪和电子探针的波谱仪对块体样品分析的空间分辨率约为1μm。
（4）若配有电子束扫描功能，可使电子束对样品进行逐点扫描，经各种电子检测器对扫描电子束产生的各种信号进行检测并在阴极射线管显示，由此可观察扫描透射像、二次电子像、背散射电子像，并可得到分析元素的X射线能谱和电子能量损失谱以及线分布和面分布图。
（5）分析电子显微镜对真空度的要求较高，以减轻细微电子束对样品产生的污染。
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