硅烷实际上是甲硅烷的简称。甲硅烷作为提纯中间化合物有其突出的特点：一是甲硅烷易于热分解，在800～900℃下分解即可获得高纯多晶硅，还原能耗较低。二是甲硅烷易于提纯，在常温下为气体，可以采用吸附提纯方法有效去除杂质。缺点是热分解时多晶的结晶状态不如其他方法好，而且易于生成无定型物。
1．硅烷的制备
曾被研究的甲硅烷的制备方法有多种，具体如下：
直至20世纪80年代，美国联合碳化物公司采用某种催化剂使氯硅烷发生歧化反应，最后生成硅烷。其工艺为
该方法大大降低了硅烷的生产成本，目前已经实现了大规模的生产。
20世纪末，美国MEMC Pasadena公司采用了四氟化硅为原料，与其公司生产的四氢化铝钠反应，反应生产粗硅烷和四氟化铝钠两种物质。其主要工艺如下：
反应产生了粗硅烷和四氟化铝钠两种物质。副产物四氟化铝钠是一种合成焊剂，它在铝的回收和其他金属熔炼工业上有多种用途。
2．硅烷的提纯
硅烷法在提纯方面有很多优点，首先有特殊的去硼技术可以采用。由于各种金属杂质不能生成类似的氢化物或者其他挥发性化合物，使在硅烷生成的过程中，粗硅中的杂质先被大量除去。硅烷在常温下为气体，精馏必须在低温或者低温非常压下进行。硅烷气体易于用吸附法提纯。目前很多厂家采用吸附法提纯。浙江大学提供的分子筛吸附法应用于硅烷的提纯过程中，其效果比较好。
3．硅烷的热分解
不需用氢还原，甲硅烷可以热分解为多晶硅是硅烷法的一大优点。化学反应如下：
甲硅烷的分解温度低，在850℃时即可获得好的多晶结晶，而且硅的收率达到90%以上，但在500℃以上甲硅烷就易于分解为非晶硅。非晶硅易于吸附杂质，已达到高纯度的非晶硅也难以保持其纯度，因此在硅烷热分解时不能允许无定型硅的产生。改进硅烷法多晶质量，可以使用加氢稀释、热分解等技术，甲硅烷分解时多晶硅就沉积在加热到850℃的细硅棒（硅芯）上。但是到目前为止，西门子法依然是高纯多晶硅的主要生产技术，不仅因为硅烷法生产多晶硅的成本要比西门子法高，更重要的是因为硅烷易爆炸，限制了该工艺的应用发展。硅烷法工艺主要流程如图4－5所示。
图4－5 硅烷法工艺主要流程
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