【摘要】：水洗时间影响水洗进行程度，对药液置换、基板清洁度、防止结晶物析出等都有影响。水洗时间太短，清洗效果不好，基板上还有刻蚀液的残留，将引起水斑或刻蚀姆拉。但水洗时间太长，纯水用量太大，又会增加成本。此外，水洗时间还要符合整个生产的生产节拍。喷淋压力大对基板表面的冲击力大且水流快，能提高对刻蚀液的置换能力。水洗喷淋压力的参考值为0.5kgf·cm-2。
8.5.7 水洗时间与水洗喷淋压力
1.水洗时间
水洗时间影响水洗进行程度，对药液置换、基板清洁度、防止结晶物析出等都有影响。水洗时间太短，清洗效果不好，基板上还有刻蚀液的残留，将引起水斑或刻蚀姆拉。一般在水洗槽1中，可用pH试纸在清洗过的玻璃基板表面进行检查，若呈现粉红色，说明还需延长水洗时间。但水洗时间太长，纯水用量太大，又会增加成本。此外，水洗时间还要符合整个生产的生产节拍。
2.喷淋压力
水洗喷淋压力决定了水洗能力。喷淋压力大对基板表面的冲击力大且水流快，能提高对刻蚀液的置换能力。喷淋压力大，喷淋喷出的圆锥体形状顶角大，使纯水能均匀地作用于基板各处，提高水洗均匀性。但喷淋压力提高到一定程度后效果不会明显再增加，反而增加水的用量，增加了成本。若喷淋压力太小，则水洗能力不足，水洗均匀性变差。水洗喷淋压力的参考值为0.5kgf·cm-2。
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