【摘要】：每种薄膜材料都有自己独特的光学透射率或者反射率曲线。通过对透过率和反射率的监测可以有效判断薄膜的质量。在TFT制造工程中，要检测ITO膜透过率和金属膜的反射率，监控溅射膜的质量，进行膜质管理。这就要在透光率和导电性能之间找到一个平衡点，对ITO膜的化学组分和膜层厚度的偏离最灵敏的监控手段就是ITO膜的透射光谱的测量。
5.6.3 透过率和反射率测量
每种薄膜材料都有自己独特的光学透射率或者反射率曲线。通过对透过率和反射率的监测可以有效判断薄膜的质量。在TFT制造工程中，要检测ITO膜透过率和金属膜的反射率，监控溅射膜的质量，进行膜质管理。如果成膜后膜质出现异常，其透过率或反射率会发生变化，通过这个变化可以来初略判断薄膜的成膜质量。对于金属膜而言，主要用于测定铝膜或铝铌膜的反射率，通过铝膜或铝铌膜反射率状况进行膜质管理。
图5.24所示是ITO膜和玻璃的光学透射率的比较。图中虚曲线所示是玻璃的光学透射率，实曲线所示是ITO膜的光学透射率。这两条曲线在可见光谱区非常相近。玻璃是绝缘体，在可见光的范围内有良好的透过率是可以理解。但是ITO膜是液晶像素电极，不仅要求其导电率要高，还必须要求其在光谱可见区有类似玻璃的均匀的高透射率，这就有相当的难度。这是一对矛盾，导电性能好则金属性强，但金属性强在可见光区域的透射率就不可能很高。这就要在透光率和导电性能之间找到一个平衡点，对ITO膜的化学组分和膜层厚度的偏离最灵敏的监控手段就是ITO膜的透射光谱的测量。
图5.24 ITO膜和玻璃光学透射率的比较
图5.25所示是铝铌和钼钕的光学反射率曲线、铬的反射率分布曲线。
图5.25 铝铌、钼钕和铬的反射率
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