【摘要】：根据颗粒检查图的分布结果，判定为基板本身存在残次品时，应及时联系技术部门负责原材料相关问题的人员进行处理。
4.6.2 作业异常处置
作业异常情况及处置方法如下所述。
（1）批次在投入时投入设备发生异常中止：
●记录正在投入的批次号码、载物箱号码及已经完成投入的基板数目，联系技术人员处理设备故障。
●技术人员对设备处理后确认可以继续投入的，该批次的剩余基板才可继续投入；如果对该批次剩余基板作出不能继续投入决定的，则剩余基板将重新编号，等待以后投入。
●投入完成后，参照制造执行系统（manufacturing execution system，MES）操作规格书在MES中完成相应批次的结束报告。
●批次材料使用报告（使用MES操作完成）。
（2）基板在洗净处理过程中因为设备异常或工艺参数异常致使警报发生，导致基板在装置中滞留（产品无破损）的，一般按照图4.21所示的流程处理。
（3）基板在洗净设备中发生破损时的处置：
●在索引（Indexer）上对该设备的端口（Port）进行输入（In）禁止，联系相关技术人员，记录发生问题的批次号码及其他已经到达Port的批次号码。
●在MES中对问题批次实施立即停止，等待处理。
●技术处理完成后，对该批次相应的问题基板进行宏观微观检查，废弃破损划伤的基板；同时，经设备管理部门同意后，按照尘检操作说明对相应设备进行灰尘检查，检查合格后解除端口输入（Port In）禁止，进行正常生产。
图4.21 设备异常或工艺参数异常报警处理流程
●在MES中对该批次实施返回再加工至本次洗净，解除该批次的停止状态，实施在线（Online）制造流程。
（4）根据颗粒检查图的分布结果，判定为基板本身存在残次品时，应及时联系技术部门负责原材料相关问题的人员进行处理。
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