碰撞截面与电子的能量有关，数量很多、种类繁多且非常复杂，碰撞截面一般由实验测得，大多数研究者只测出了某种或几种截面，系统性较差并且采用实验方法各异，得出的截面也相差较大。而在蒙特卡罗计算中，截面数据的分析处理是非常重要的。根据物理假设和问题的特点，在蒙特卡罗计算中，可按点截面和分段截面两种方法选取截面数据。
下面以SF6为例，对气体进行截面数据分析。以下所有碰撞截面的单位为10-20m2，能量ε的单位为e V。
1）SF6的碰撞截面
SF6的动量传输、振动激发（阈值能量为0.095e V）和附着（包括
、
、F-、
和
离子）截面采用Itoh的测量数据，电子激发（阈值能量为9.8e V）截面采用Yoshizawa的测量数据，电离（阈值能量为15.8e V）截面采用Rejoub的测量数据，将这组截面作为初始截面。在SF6电子崩参数的计算中，用到如下所示的各截面的数据点及拟合函数式。
（1）SF6的动量传输碰撞截面Qm：
（2）SF6的电子激发碰撞截面Qex：
（3）SF6的振动激发碰撞截面Qev：
：
：
：
：
F-：
（5）SF6的电离碰撞截面Qion如表3-1所示：
表3-1 SF6的电离碰撞截面
将以上函数式及数据点绘制如图3-3所示。
2）SF6模拟的电子崩参数
SF6蒙特卡罗模拟的计算步骤：
（1）将选择的碰撞截面作为初始截面组。
（2）取n0（3-000）个初始电子，并对初始电子的能量、位置和速度初始化。
（3）根据能量ε计算各截面，并求宏观截面和。
（4）根据式（3-37）和式（3-39），计算Δt和发生真实碰撞的概率。如发生空碰撞，电子将保持运动方向不发生改变，继续下一个Δt时间的运动。如发生真实碰撞，则根据式（3-41）和式（3-42）判断电子与气体分子发生哪种碰撞（弹性、振动、激发、附着、电离或中性分解碰撞），如发生电离碰撞，将此时产生的新电子的参数存储。
图3-3 SF6的碰撞截面：Qm动量传输截面，Qev振动激发截面， Qex电子激发截面，Qat1～Qat5附着截面，Qnd中性分解截面，Qion电离截面
（5）根据碰撞的性质，进行能量、速度和方向计算。
（6）将时间Δt累加，直到预定的截止时间，一个电子模拟结束；将所需要的量进行存储。
（7）将初始电子和新产生的电子都模拟完，按照式（3-54）、式（3-55）和式（3-56）计算电离系数密度比α/N、附着系数密度比η/N和漂移速度，有效电离系数密度比（α-η）/N为电离系数密度比减去附着系数密度比。
（8）将所得有效电离系数和漂移速度与其他文献报道的实验数据比较，如结果不一致，按照修正截面的步骤进行截面修正，重新开始模拟；如结果比较一致，则模拟结束。
用这组截面模拟得到的有效电离参数密度比（α-η）/N和漂移速度Ve与实验数据进行比较，达到了较好的一致性，如图3-4所示。
图3-4 SF6的有效电离参数密度比(α-η)/N和漂移速度Ve与E/N的关系
（▲）有效电离系数的实验数据；（○）有效电离系数的模拟数据；（■）漂移速度的实验数据；（△）漂移速度的模拟数据
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