【摘要】：氦质谱真空检漏仪的基本检漏原理是：将氦质谱真空检漏仪的真空室与被检真空系统接为联通腔体，并将系统抽至一定的真空状态，启动氦质谱真空检漏仪，然后，在被检真空系统的可疑漏点处喷涂气体氦。若有微漏细孔，则气体氦就会被吸入真空腔内，当氦质谱真空检漏仪在联通腔内检测到氦的气体分子，就证明此处有微漏点。
氦质谱真空检漏仪是以气态氦为示漏气体的各种负压真空检漏仪器的总称，包括传统的氦质谱真空检漏仪、反流式氦质谱真空检漏仪和寄生式氦质谱真空检漏仪等。前两种真空检漏仪体积较大，不宜搬动，通常用于工厂或研究所；后一种检漏仪不需要配置独立抽真空设备，可以做成便携式，便于随身携带，现场检漏比较方便。
氦质谱真空检漏仪的基本检漏原理是：将氦质谱真空检漏仪的真空室与被检真空系统接为联通腔体，并将系统抽至一定的真空状态，启动氦质谱真空检漏仪，然后，在被检真空系统的可疑漏点处喷涂气体氦。若有微漏细孔，则气体氦就会被吸入真空腔内，当氦质谱真空检漏仪在联通腔内检测到氦的气体分子，就证明此处有微漏点。采用氦质谱真空检漏仪检漏是灵敏度最高的负压式真空检漏方法。
之所以采用氦作为真空检漏气体，其原因如下。
1．空气中氦的含量很少，只有约1/250000，在一般真空系统的残余气体中，氦的含量也很少，故氦的本底含量很低，可以得到较高的检漏灵敏度。
2．氦是惰性气体，不会污染环境。
3．氦的分子小，质量轻，通过微漏孔的速率约是空气的2．7倍，检漏灵敏度高。
4．质量数相近的气体（例如氢、氮等）与氦的特性差别较大，易于分离鉴别。
免责声明：以上内容源自网络，版权归原作者所有，如有侵犯您的原创版权请告知，我们将尽快删除相关内容。
