【摘要】：真空检漏一般可分为负压检漏和正压检漏两类真空检漏方法。正压检漏法主要适用于漏率较大的真空漏气系统。表2-12-3中所示的离子泵检漏法是最简便易行的现场真空检漏技术。因为离子泵不但是加速器真空系统必配的高真空保持设备，同时也是真空测量的取样器，不需要外接检漏仪器，简便易行。
真空检漏一般可分为负压检漏和正压检漏两类真空检漏方法。负压检漏是指漏气系统处于真空负压状态下，采用示漏剂或示漏气体，通过肉眼观察或仪器探测来寻找漏点的检漏方法，主要适用于漏率较小的真空漏气系统；正压检漏法是在被检容器内充以高压示漏气体，通过示漏气体寻找漏孔。查找漏孔可以采用在可疑点处涂抹示漏液体和仪器测漏等方法查出漏点，如当加速管真空系统漏气比较严重时，就可以充入干燥的高压空气，采用“皂膜气泡法”或“卤素检漏法”等进行检漏处理。正压检漏法主要适用于漏率较大的真空漏气系统。各种检漏方法及相应的检漏原理和适用范围，见表2-12-3，需要检漏时可根据当时的实际情况和漏气程度灵活选用。
表2-12-3中所示的离子泵检漏法是最简便易行的现场真空检漏技术。因为离子泵不但是加速器真空系统必配的高真空保持设备，同时也是真空测量的取样器，不需要外接检漏仪器，简便易行。其基本检漏原理是：当真空系统漏气之后，首先反映的是离子泵的电流增大，所以，当发生真空微漏时，利用溅射离子泵对不同气体的除气速度不同，可在疑漏处喷涂用于波导管内增加绝缘程度的常备气体六氟化硫（SF6），或者喷涂氩气、氦气等惰性气体，若离子泵电流增大，就说明喷吐处发生了真空微漏故障，必须采取相应的补漏措施。
表2-12-3 真空检漏法
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