【摘要】：MEMS在导航、飞行器设计和微型卫星等方面有着重要应用。利用MEMS技术制造的微型仪器在环境检测、分析和处理方面大有作为。MEMS技术的发展对信息技术产生了深远的影响。近年来，MEMS又逐渐向光通信领域渗透，形成了由微光学、微电子学、微机械学和材料学相结合的全新研究领域，即微光电子机械系统 。采用MEMS微机械制造的光盘读取头，体积和重量得到大大降低，定位速度和读取速度得到显著提高。
1.MEMS在空间科学上的应用
MEMS在导航、飞行器设计和微型卫星等方面有着重要应用。如：基于航天领域里的小卫星、微卫星、纳米卫星和皮米卫星的概念，提出了全硅卫星的设计方案，整个卫星的重量缩小到以千克计算，进而大幅度降低成本，使较密集的分布式卫星系统成为现实。
2.MEMS在环境科学上的应用
利用MEMS技术制造的微型仪器在环境检测、分析和处理方面大有作为。它们主要是由化学传感器、生物传感器和数据处理系统组成的微型测量和分析设备，其优势在于体积小、价格低、功耗小和易于携带。
3.MEMS在信息技术领域中的应用
MEMS技术的发展对信息技术产生了深远的影响。近年来，MEMS又逐渐向光通信领域渗透，形成了由微光学、微电子学、微机械学和材料学相结合的全新研究领域，即微光电子机械系统 （MOEMS）。
微光学平台是微光机电系统技术应用的一个典型例子，它主要用于光学测量和实验。传统的光学系统平台体积大，系统中的元件是先分开制造然后组装而成，装配量很大，成本很高。而微光学平台，体积小，系统中的元件可集成加工在单一芯片上，对准精度高，可成批生产，成本低。这些优点使微光学平台相对于传统的光学系统有很大的优势。
在光学信息存储系统中，光盘读取头影响存储密度和读取速度，决定整个系统性能的好坏。采用MEMS微机械制造的光盘读取头，体积和重量得到大大降低，定位速度和读取速度得到显著提高。
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