在汽车和机械工业上的应用

1.压力传感器

汽车及机械工业是MEMS技术的主要应用领域之一。MEMS压力传感器广泛应用于汽车电子工业，如轮胎检测与监测系统、发动机机油压力传感器、汽车刹车系统、空气压力传感器等。除此之外，我们平常所使用的消费电子器具如洗衣机、电冰箱、微波炉、吸尘器、烤箱、饮水机、洗碗机、太阳能热水器等都采用了压力传感器。

2.MEMS加速计

随着社会的进步，人们的消费需求越来越高，而MEMS技术在手机和PDA中的使用率也在提高。目前市场上采用MEMS加速计的手机等产品越来越多。手机中的MEMS加速计能够使人机界面变得更简单、更直观，通过手的动作就可以操作界面功能，全面增强了用户的使用体验。MEMS技术在手机等设备中的应用之所以如此受欢迎的主要原因是因为有了MEMS加速计，只要把设备向某一方向倾斜，就能在小屏幕上详细查看地图，显示放大的图像。MEMS还能检测到用户抖动手机和MP3播放器的动作，这个简单的手势可以让播放器跳到下一首歌或返回到上一首歌。

3.MEMS陀螺仪

陀螺仪能够测量沿一个轴或几个轴运动的角速度。将加速计和陀螺仪这两种传感器组合起来使用，系统设计人员就可以跟踪并捕捉三维空间的完整运动，为用户提供现场感更强的用户使用体验、精确的导航系统以及其他功能。MEMS陀螺仪的目标应用有：在汽车上，偏航陀螺仪可以开启电子稳定控制制动系统，防止汽车急转弯时发生意外事故。当汽车出现翻滚状况时，滚转陀螺仪可以引爆安全气囊；当汽车导航系统无法接收GPS卫星信号时，偏航陀螺仪能够测量汽车的方位，使汽车始终沿电子地图的规划路线行驶，这个功能被称为航位推测系统；偏航陀螺仪还能用于室内机器人控制；安装在机器人四肢上的多路惯性测量单元 （IMU）能够跟踪和监测身体运动；IMU还能用于运动控制式游戏平台；IMU配合磁力计和GPS接收器，可以在手持设备上执行个人导航功能。