【摘要】：压电驱动薄膜泵是应用了压电陶瓷的逆压电效应即在电信号的作用下陶瓷会产生机械变形的特点来工作的。作为压电驱动器可分为叠堆型压电驱动器和薄片型压电驱动器。叠堆型压电驱动器是将许多压电陶瓷片黏合在一起,因此可产生很大的垂直位移和驱动力。图1.5、1.6就是两种驱动器的工作原理图。
压电驱动薄膜泵是应用了压电陶瓷的逆压电效应即在电信号的作用下陶瓷会产生机械变形的特点来工作的。因为压电驱动器的输出功率随尺寸变化最小,压电致动具有压力较大、体积变化量大、能耗小、无热生成、响应快、可靠性和耐用性好,输入与输出的线性关系可以精确地控制流量等优点,因此压电驱动薄膜泵在近30年来得到了快速的发展。作为压电驱动器可分为叠堆型压电驱动器和薄片型压电驱动器。叠堆型压电驱动器是将许多压电陶瓷片黏合在一起,因此可产生很大的垂直位移和驱动力。其优点是可以在高电压、高频率下工作,其缺点是工作时要求系统加工精度很高,并往往需要额外的放大机构。薄片型压电驱动器因陶瓷片很薄,在变形时容易脆裂,因此经常要把它黏附在铜铝等金属基板或硅板上。优点是结构简单,制作成本低;缺点在于压电振子所能承受的电压低、承载能力相对较弱。图1.5、1.6就是两种驱动器的工作原理图。
图1.5 薄片型压电驱动器
图1.6 叠堆型压电驱动器
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