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单晶硅的制备

时间:2022-11-04 百科知识 版权反馈
【摘要】:无论是铸造多晶硅的生产还是单晶硅的制备都是以高纯多晶硅为原料。单晶硅太阳能电池以及集成电路中所使用的硅片前身是单晶硅棒,因此从高纯多晶硅转化成单晶硅对于单晶硅太阳能电池的生产和微电子工业而言都是极其关键的一步。这就是从熔体硅中生长单晶硅所遵循的途径。从熔体中生长单晶硅的方法,目前应用最广泛的主要有两种:坩埚直拉法和无坩埚悬浮区熔法。由这两种方法得到的单晶硅分别称为CZ硅和FZ硅。

无论是铸造多晶硅的生产还是单晶硅的制备都是以高纯多晶硅为原料。单晶硅太阳能电池以及集成电路中所使用的硅片前身是单晶硅棒,因此从高纯多晶硅转化成单晶硅对于单晶硅太阳能电池的生产和微电子工业而言都是极其关键的一步。高纯多晶硅的生产主要是典型的精细化生产过程,这在第四章已经介绍,本章就不再赘述。而硅单晶制备,就是要实现由多晶到单晶的转变,即原子由液相的随机排列直接转变为有序阵列;由不对称结构转变为对称结构。但这种转变不是整体效应,而是通过固液界面的移动逐渐完成的。为实现上述转化过程,多晶硅就要经过由固态硅到熔融态硅,再到固态晶体硅的转变。这就是从熔体硅中生长单晶硅所遵循的途径。从熔体中生长单晶硅的方法,目前应用最广泛的主要有两种:坩埚直拉法和无坩埚悬浮区熔法。由这两种方法得到的单晶硅分别称为CZ硅和FZ硅。

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