【摘要】：在TFT阵列制造生产实践中，提高合格率的关键是加强在线检测。这里讲的缺陷解析是离线解析，是事后的分析。缺陷解析技术就是对不合格产品表现出的问题给出合理的解释，提出解决问题的办法。在生产线上加强工艺过程管理，加强监控，及时发现缺陷，及时报警，可以有效提高解析的准确度和解析的速度。在生产中通过解析工作，逐步建立缺陷发生的防范和预警体系，特别要降低共同缺陷的发生频率。
第十一章 缺陷解析技术
在TFT阵列制造生产实践中，提高合格率的关键是加强在线检测。多花一些钱配备足够的在线检测设备是一件事半功倍的事。这里讲的缺陷解析是离线解析，是事后的分析。
缺陷解析技术就是对不合格产品表现出的问题给出合理的解释，提出解决问题的办法。同样一个缺陷，但是其形成缺陷的原因却可能有1 000种，究竟是哪种原因？一方面需要经验的积累，一方面需要装备精良的设备提供可靠的检验结果。高效率，高水平的解析工作是建立在对生产工艺各个环节的深刻理解以及采用高水平分析设备进行测试的基础上的。提高合格率，提高产品质量，降低生产成本，改进工艺技术方案都与解析工作直接相关。
缺陷发现得越早越容易解决。在生产线上加强工艺过程管理，加强监控，及时发现缺陷，及时报警，可以有效提高解析的准确度和解析的速度。
在解析工作中最重要的是尽可能多地收集相关证据或信息，建立各种缺陷信息的数据库和建立解析手段。在生产中通过解析工作，逐步建立缺陷发生的防范和预警体系，特别要降低共同缺陷的发生频率。
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