【摘要】：20世纪80年代中期，澳大利亚新南威尔士大学发明了激光刻槽埋栅太阳能电池。图7－32描述了该太阳能电池的结构。激光刻槽埋栅电池的特点是：在发射结扩散后，用激光在前面刻出20μm宽、40μm深的沟槽，将槽清洗后进行浓磷扩散。电极位于电池内部，减少了栅线的遮光面积。该电池转换效率达到21．1%。目前这一技术已转让给好几家世界上规模较大的太阳能电池生产厂家，如英国的BP SOLAR和美国的SLAREX等。
20世纪80年代中期，澳大利亚新南威尔士大学发明了激光刻槽埋栅太阳能电池。图7－32描述了该太阳能电池的结构。其主要工艺流程如下：
①表面金字塔的形成；②表面淡磷扩散；③表面氧化物（SiO2）生长；④激光刻槽；⑤槽内化学腐蚀；⑥槽内浓磷扩散；⑦背面金属铝蒸发；⑧背面金属铝烧结；⑨化学镀前后面金属电极；⑩边缘切割。
激光刻槽埋栅电池的特点是：在发射结扩散后，用激光在前面刻出20μm宽、40μm深的沟槽，将槽清洗后进行浓磷扩散。然后在槽内镀金属电极。电极位于电池内部，减少了栅线的遮光面积。在电池背面沉积约2μm厚的铝层，并使背面铝和硅形成合金，背面铝合金可以吸除体内杂质和缺陷，并形成P＋层，或称为背表面场，由于降低了少数载流子在背表面的复合速度，对暗电流起到了显著的抑制作用，使开路电压得到较大提高。该电池转换效率达到21．1%。目前这一技术已转让给好几家世界上规模较大的太阳能电池生产厂家，如英国的BP SOLAR和美国的SLAREX等。
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