【摘要】：真空腔及其上盖采用钢结构，是为承受强大的大气压力并防止腐蚀生锈;上盖与真空腔之间采用Φ10的O形圈密封。如图3－15所示，真空系统由真空泵、真空管路、真空阀、真空表组成。真空泵在60 s以内达到真空要求。真空阀控制真空室的进气和排气，真空表显示上、下真空室工作状态。气缸采用三位五通双电控电磁阀进行控制;开盖和关盖速度用气缸和电磁阀上截流阀进行调节。
主体设备一套、真空泵、控制箱一套、温控表、气动、真空泵、高温布。
场地配置:电源(AC380 V、50 Hz、30 kW)、水源(15L/min)、气源(0.5～0.7MPa)。
(1)真空腔
真空腔及其上盖采用钢结构，是为承受强大的大气压力并防止腐蚀生锈;上盖与真空腔之间采用Φ10的O形圈密封。
(2)层压膜
采用硅橡胶板(3mm)，具有耐油、耐热、弹性好等特点。
(3)加热平台
加热平台是支持加热封装组件的部分，由加热器、匀热钢板组成，热偶探头在钢板侧面，以测量钢板的温度。
(4)真空系统
如图3－15所示，真空系统由真空泵、真空管路、真空阀、真空表组成。真空泵在60 s以内达到真空要求。真空阀控制真空室的进气和排气，真空表显示上、下真空室工作状态。
图3－15 真空系统
(5)加热系统
本系统采用PLC内部PID调节控制加热。
(6)开关盖系统
单个气缸用来开盖和关盖控制。气缸采用三位五通双电控电磁阀进行控制;开盖和关盖速度用气缸和电磁阀上截流阀进行调节。
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